Sensofar Metrology
Profilomètre optique 3D Sensofar 
Sensofar, depuis presque 20 ans, mesure et caractérise les surfaces, les formes et la rugosité grâce à ses profilomètres optiques non destructifs 3D en utilisant différentes technologies avancées.
Schaefer-Tec AG est le distributeur officiel de cette société de profilomètres pour la Suisse et le Lichtenstein.
En utilisant le micro-display breveté par Sensofar, l’instrument combine les techniques de la microscopie confocale, de l’interférométrie (CSI, PSI) et de la Ai FVNEW (Active Illumination Focus Variation) dans la même tête de mesure sans aucune pièce mécanique mobile (un entretien régulier n’est pas nécessaire) afin de permettre les mesures sur presque toutes les surfaces. Le micro-display, en combinaison avec des platines à haute résolution et des objectifs échangeables, fournit un système optique flexible. Par exemple, une structure de fente variable projetée sur le micro-display combinée à un objectif fond clair sont les ingrédients essentiels de la microscopie confocale. En remplaçant la structure de fente pour un miroir plat, le système est maintenant capable de varier la mise au point (mode Focus Variation). En échangeant maintenant l’objectif fond clair avec un objectif interférométrique, le système est donc capable de faire l’interférométrie.
Le passage d’une technique de mesure à l’autre se fait en quelques secondes et cela permet de couvrir une large étendue, y compris la forme (Ai FV), la rugosité sub-nanométrique et les grandes surfaces (interférométrie) ou les dimensions critiques qui nécessitent une résolution latérale ainsi qu’une résolution verticale élevée (confocale).
Le domaine d’application va de la mesure de la rugosité des surfaces extrêmement lisses avec une résolution verticale de 0,01 nm en mode de fonctionnement interférométrique, à la mesure de surfaces rugueuses très peu réfléchissantes avec des angles de flanc jusqu’à plus de 71 degrés en mode confocal, par ex. la mesure de forme d’outils (même les surfaces brillantes comme celles du diamant) avec des angles jusqu’à 86 degrés en Ai FV.
Le concept innovant de la source d’éclairage (4 LED: bleu, rouge, vert et blanc) est obtenu sans aucun composant mobile dans la tête de mesure et évite ainsi les inconvénients typiques du balayage conventionnel par laser ou des systèmes à disque Nipkow en confocale. Par exemple, l’utilisation du LED bleu, comme source lumineuse, de très courte longueur d’onde et courte longueur de cohérence garantit une résolution optique la plus élevée possible.
Une technique optionnelle supplémentaire est la RÉFLECTOMÉTRIE SPECTROSCOPIQUE qui mesure les couches minces rapidement, avec précision, de manière non destructive et nécessitant aucune préparation de l’échantillon. Le spectre d’interférence acquis est simulé dans un logiciel en varient l’épaisseur de la couche et l’indice de réfraction jusqu’à ce que le meilleur résultat soit trouvé. Cela fonctionne très bien pour les monocouches, les membranes et pour les couches minces multiples (de 1 à 10) sur un substrat.
Les films transparents de 10 nm à 20 μm peuvent être mesurés en moins d’une seconde avec :
- une résolution d’épaisseur de 0,1 nm
- une résolution latérale jusqu’à 5 μm.
Veuillez voir ici un Webinar dans lequel Dr. Roger Artigas (CTO de Sensofar) donne une introduction des diverses méthodes de mesure (Projection de franges, Confokal, Active Illumination Focus Variation et Interférométrie).
Une autre présentation est disponible ici: How 3D Non-contact surface measurement can improve your Additive Manufacturing process
La palette de produits comprend les appareils suivants:
S neoxNOUVEAU
Le S neox est le profilomètre optique 3D original et unique sur le marché grâce à sa tête de mesure avec l’intégration de 3 technologies en 1. Il combine dans la même tête de mesure la microscopie standard, la confocale, l’interférométrie, la Ai Focus Variation ainsi que la mesure haute résolution de couches épaisses et minces.
La conception robuste et compacte est basée sur l’approche du micro-display sans pièces mobiles. Avec la 5ème génération des systèmes S neox, le but a été de rendre l’utilisation simple, intuitive et plus rapide. Même si vous êtes débutant, le système peut être géré en un seul clic. Des modules logiciels ont été créés afin d’adapter le système aux besoins des utilisateurs. Tout est plus rapide qu’auparavant avec de nouveaux algorithmes intelligents et uniques et une nouvelle caméra. L’acquisition des données est faite à 180 fps. L’acquisition de mesures standard est 5 fois plus rapide qu’auparavant.
La brochure S neox est disponible ici.
S neoxNOUVEAU Five Axis
Le S neox Five Axis 3D Optical Profiler combine un module rotatif de haute précision avec les capacités avancées d’inspection et d’analyse du profilomètre S neox « standard ».
Le système Five Axis permet d’effectuer des mesures automatiques de surface 3D à des positions prédéfinies. L’ensemble des résultats de mesure sera utilisé pour générer une représentation volumétrique 3D complète.
Il est aussi possible d’effectuer des mesures automatiques de surface 3D autour de l’échantillon à des positions précises pour les analyser individuellement afin d’évaluer, par exemple, la texture de la surface. Trois techniques de mesure couvrent une large étendue, y compris la forme (Ai focus variation), la rugosité sub-nanométrique (interférométrie) et les dimensions critiques qui nécessitent à la fois une haute résolution latérale et verticale (confocale).
Ici une vidéo concernant le système de profilomètrie Sneox Five Axis 3D.
Ce lien vous donne accès au webinar enregistré pour implants dentaires.
La brochure S neox Five Axis est disponible ici.
S lynx
S lynx est un profilomètre optique 3D de surface conçu pour des applications dans les domaines de l’industrie et de la recherche. Il se présente comme un système compact et polyvalent. S lynx est capable de mesurer différentes textures, structures, rugosités et ondulations, à différentes échelles de surface. Cette polyvalence rend l’instrument adéquat à la mesure d’une large gamme de mesures de topographie de surface grâce à l’unique technologie Sensofar qui regroupe 3 modes de fonctionnement dans la même tête de mesure (Confocale, Interférométrie et Focus Variation).
Le système est composé d’une platine motorisé Z avec une plage de déplacement de 40 mm et une précision de positionnement très élevée, d’une platine XY manuelle avec une plage de déplacement 40 mm x 40 mm et d’un tip-tilt.
Les applications principales sont dans le domaine de l’Automobile, de l’ Électronique, des écrans LCD, de la Science des Matériaux, de la Microélectronique, de la Micro Fabrication, de l’ Optique, de l’ Outillage, des Semi-Conducteurs et de la Fabrication de Montres.
Ici est un lien pour voir la brochure.
S wideNOUVEAU
Le Sensofar S wide est un nouveau système de métrologie optique 3D pour les « grandes surfaces ». Il utilise la technologie de projection de frange pour mesurer et caractériser les surfaces 3D. Cette technique de mesure optique est basée sur le principe de triangulation qui utilise une projection de lumière structurée et une observation par camera à un certain angle par rapport à la surface examinée.
Le S wide est une solution dédiée à la mesure rapide de surfaces d’échantillonnage allant jusqu’à 300 x 300 mm. Il intègre les avantages d’un microscope numérique dans un instrument de mesure haute résolution. Le système est extrêmement facile à utiliser et activé par un simple bouton poussoir.
Le système S wide est disponible en deux configurations : Le system entier, ou seulement la tête de mesure intégrable, plus toujours un contrôleur électronique et un PC.
Voyez ici un Webinar (en Anglais) par rapport au S wide.
La brochure du S wide est disponible ici.
S mart
Le S mart est un capteur de profilomètrie optique 3D compact ; il mesure et caractérise les surfaces 3D et offre la polyvalence de mesure nécessaire pour faire face à une gamme étendue de surfaces et de topographies. Avec la technologie 3-en-1 de Sensofar – trois technologies de mesure (Confocale, Interférométrie (VSI) et Focus Variation) sont combinées en une seule tête de mesure grâce à la technologie brevetée du Micro-Display. Le système peut facilement passer d’une technique à l’autre afin de permettre le choix plus approprié pour la tâche à accomplir.
Il est composé d’une tête de mesure, d’un contrôleur électronique et d’un contrôleur principal.
La brochure peut être chargé ici.
S onix
S onix is also a compact 3D sensor profiler at high speed using the interferometric mode, CSI (White Light Interferometer). This system provides the speed needed in a high-throughput industrial metrology system. With its high-speed camera and optimized optical and mechanical design, S onix is up to 7 times faster than other interferometric systems available today. Vertical resolution (1nm) has been maintained with the added bonus of improved resistance against vibration. Its small size and low weight make the integration easy. Able to be mounted in any orientation, the S onix can be positioned as the application dictates. Cable lengths can be up to 14 m. This makes them perfectly adaptable for both in-line production and robot-mounted sensing.
Applications typiques (avec liens aux notes d’application)
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- Recherche scientifique générale et des matériaux
- Industrie horlogère, pièces microméchaniques
- Outillage (outils de coupe), implants
- Dentaire
- Dispositifs médicaux
- Microcanaux
- Fabrication additive
- Balistique / Médecine légale
- Aérospatiale & Automobile
- Optique & Optoélectronique
- Photovoltaique
- Fabrication avancée
- Nanotechnologie
- Micro électronique, PCB
- Couches minces
- Chemical Mechanical Planarization (CMP)
