Mikromanipulator miBotTM
Roboterbasierte Lösungen
für Positionierung, Manipulation und Datenerfassung auf Mikro- und Nano-Skala
Imina Technologies ist der Hersteller des miBot™, ein äußerst vielseitiger und intuitiv zu benutzender piezo-basierter Manipulator. In Verbindung mit verschiednen Instrumenten anderer Hersteller wird der miBot™ eingesetzt, um Messspitzen präzise zu positioneren auf elektronischen Bauteilen und MEMS-Strukturen, oder um Nanopartikel oder biologische Proben zu handhaben oder deren Eigenschaften zu charakterisieren.
- 4 Freiheitsgrade
- Großer Verfahrweg (mehrere cm)
- Auflösung bis herab zu nm
- Hohe Stabilität
- Intuitive Steuerung
Unser Angebot ist in 2 Produktlinien unterteilt – MICRO und NANO – mit einem hohen Maß an Aufrüstbarkeit untereinander, die sich an Ihre Ausstattung, Proben und experimentellen Anforderungen anpassen.
NANO-Produktlinie
In-situ-Nanoprobing- und EFA-Lösungen (Electrical Failure Analysis) für SEM, FIB oder Dual Beam.
Die Positionierungsauflösung beträgt < 1 nm. Abnehmbare Plattformen werden einfach (in Minuten) auf dem Probenpositionstisch der meisten REM-Modelle montiert. Die Plattformen können mit bis zu 8 mobilen miBot™ Nanoprobern verwendet werden.
Die Lösungen sind mit fortschrittlichen Mikroskopen kompatibel , die kurze Arbeitsabstände, Neigungswinkel und den magnetischen Immersionsmodus verwenden.
EFA-Anwendungen wie EBAC/RCI, EBIC, EBIRCh werden unterstützt.
Unsere Precisio™-Software bietet einen integrierten Workflow, um die Positionierung der Nanosonden zu ermöglichen, elektrische Testmessungen durchzuführen und die Verarbeitung Messdaten und Berichterstattung zu unterstützen.
MICRO-Produktlinie
Positionieren Sie Sonden präzise und interagieren Sie physisch mit Proben, indem Sie miBots™ verwenden, die in optische Mikroskope, Probestations und Inspektionsgeräte integriert sind.
Die Positionierungsauflösung beträgt < 100 nm. Verschiedene Plattformen passen sich an den verfügbaren Platz und die experimentellen Anforderungen an und können bis zu 8 mobile miBot™-Roboter aufnehmen.
Eigenständige Probestations für entweder kleine Sonden oder Wafer können einen halbautomatischen Betrieb bieten.
Kits für Mikrosondenplattformen lassen sich in vorhandene aufrechte oder invertierte optische Mikroskope, Probestations, Halbleiterinspektionswerkzeuge, AFMs oder Gloveboxen/Klimakammern integrieren.
Sonden, Mikro-Werkzeuge und Sensoren
Erweitern Sie den Einsatzbereich Ihres miBot™ auf vielfältige Anwendungsgebiete dank seiner Kompatibilität mit mehreren Werkzeugen und Sensoren. Der miBot™ ist mit einem firmeneigenen „tool holde“-Mechanismus ausgestattet, der den Wechsel oder Ersatz der Werkzeuge/Sensoren schnell und bequem macht. In Minuten lässt sich der miBot von einem elektrischen Prober oder einem Positionierer für optische Fasern umbauen in einen Manipulator für Nanopartikel (Mikrogripper) oder von biologischen Proben (Mikropipette). Spezielle Halter für anderer Einsätze sind auf Anfrage erhältlich.
Anwendungen:
- In-situ Material-Charakterisierung
- Mikro/Nano Handhabung
- Elektrische Transport-Messungen
- REM/TEM Probenpräparation
- MEMS/NEMS-Prüfung
- Lokale Licht-Kollektion
- Flüssigkeits-Ausgabe
Typische Proben:
- Transistoren
- Via Chain – Teststrukturen
- Nacktchips oder offene Strukturen
- MEMS/NEMS
- 2D Material – Bauteile
- Nanodrähte und CNTs
- Meso-Kristalle
