Roboterbasierte Lösungen
für Positionierung, Manipulation und Datenerfassung auf Mikro- und Nano-Skala

 

Imina Technologies ist der Hersteller des miBotTM, ein äußerst vielseitiger und intuitiv zu benutzender piezo-basierter Manipulator. In Verbindung mit verschiednen Instrumenten anderer Hersteller wird der miBotTM eingesetzt, um Messspitzen präzise zu positioneren auf elektronischen Bauteilen und MEMS-Strukturen, oder um Nanopartikel oder biologische Proben zu handhaben oder deren Eigenschaften zu charakterisieren.

 

 

 

 

  • 4 Freiheitsgrade
  • Großer Verfahrweg (mehrere cm)
  • Auflösung bis herab zu nm
  • Hohe Stabilität
  • Intuitive Steuerung

 

 

Unser Angebot umfasst 3 Produktbereiche – „Nanoprobing SEM Solution“, „Compact Solution“, und „Portable Solution“ – mit guter Ausbaufähigkeit zwischen den Produktlinien, passend zu Ihrer Geräte-Ausstattung, Ihren Proben und Ihren experimentellen Anforderungen.

 

 

Nanoprobing Solution:
Messung niedriger Ströme im REM

  • Positionieren Sie bis zu 8 Sonden unabhängig voneinander mit Auflösung im nm-Bereich
  • Leckströme bis herab zu 100 fA/V
  • Kompaktes Design für schnellen Einbau in das REM ohne permanente Modifikationen
  • Ablauf gesteuert über die einheitliche, intuitive  PrecisioTM software

 

 

 

Micro Probe Station:
Elektrische Charakterisierung von Proben und Bauteilen im µm-Bereich

  • Komplettlösung mit optischem Mikroskop
  • 4 koaxiale Verbindungsmodule für elektrische Messungen
  • 4 unabhängig gesteuerte motorisierte Messspitzen für Bewegung in x,y, z und Rotation
  • Vollständig integrierte Software für intuitive und sichere Bedienung

 

Compact Solution:
Nahtlose Integration in Ihrer Geräteausstattung

  • Für Anwendungen bei Umgebungsbedingungen
  • Verschiedene Geometrien für minimale Grundfläche
  • Einfache Montage-Schnittstelle, kompatibel mit optischer Experimentierplatte und Mikroskop-Bühnen

 

Portable Solution:
Einstöpseln und Loslegen

  • Plattform zur Aufnahme von Proben bis 5 cm/2″ Durchmesser und bis zu 4 miBots
  • Geeignet zur Nutzung mit optischen Mikroskopen oder Elektronenmikroskopen
  • Koaxial-Anschlüsse für Injektion oder Messung elektrischer Signale

 

 

Sonden, Mikro-Werkzeuge und Sensoren

Erweitern Sie den Einsatzbereich Ihres miBotTM auf vielfältige Anwendungsgebiete dank seiner Kompatibilität mit mehreren Werkzeugen und Sensoren. Der miBot ist mit einem firmeneigenen  „tool holde“-Mechanismus  ausgestattet, der den Wechsel oder Ersatz der Werkzeuge/Sensoren schnell und bequem macht. In Minuten lässt sich der miBot von einem elektrischen Prober oder einem Positionierer für optische Fasern umbauen in einen Manipulator für Nanopartikel (Mikrogripper) oder von biologischen Proben (Mikropipette). Spezielle Halter für anderer Einsätze sind auf Anfrage erhältlich.

 

Anwendungen:

  • In-situ Material-Charakterisierung
  • Mikro/nano Handhabung
  • Elektrische Transport-Messungen
  • REM/TEM Probenpräparation
  • MEMS/NEMS-Prüfung
  • Lokale Licht-Kollektion
  • Flüssigkeits-Ausgabe

Typische Proben:

  • Transistoren
  • Via Chain – Teststrukturen
  • Nacktchips oder offene Strukturen
  • MEMS/NEMS
  • 2D Material – Bauteile
  • Nanodrähte und  CNTs
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