Sensofar Metrology
Sensofar optische Profilometer 
Sensofar ist einer der führenden Hersteller optischer Profilometer.
Unter Verwendung einer patentierten Displaytecknik gelingt es dem Hersteller erstmals die wichtigsten optischen Messmodi in einem sehr kompakten Messgerät zu vereinen: Konfokalmikroskopie, Interferometrie und Fokusvariationstechnik.
Der Wechsel zwischen den verschiedenen Messtechniken erfolgt innerhalb weniger Sekunden, wodurch es möglich wird, in kürzester Zeit ein äußerst breites Spektrum unterschiedlichster Proben zu vermessen.
Das Einsatzgebiet reicht dabei von der Rauheitsmessung auf extrem glatten Oberflächen mit einer vertikalen Auflösung von 0.01nm im Interferometriebetrieb über die Vermessung rauer, sehr schlecht reflektierender Oberflächen mit Flankenwinkeln von bis über 70 Grad im Konfokalmodus zur Formmessung beispielsweise von Werkzeugen mit Winkeln bis zu 86 Grad.
Durch den Einsatz sehr kurzwelliger blauer LEDs mit kurzer Kohärenzlänge als Beleuchtungseinheit wird auch lateral die höchstmögliche optische Auflösung garantiert. Das innovative Beleuchtungskonzept kommt dabei ohne jegliche bewegliche Bauteile im Messkopf aus und vermeidet daher die typischen Nachteile herkömmlicher Konfokaler Laserscanning oder Nipkowdisk-basierter Systeme.
Als Option steht auch eine Schichtdickenmesseinheit für sehr dünne, transparente Schichten ab 50nm mit einer Auflösung von 0.1nm zur Verfügung.
Sehen Sie hier ein Webinar in welchem Dr. Roger Artigas (CTO von Sensofar) einen Überblick der diversen Messmethoden (Streifenprojektion, Konfokal, Active Illumination Fokus Variation und Interferometrie) gibt.
Eine weitere Präsentation: How 3D Non-contact surface measurement can improve your Additive Manufacturing process
Die Produktpalette umfasst folgende Geräte:
S neoxNEU
Das S neox ist ein High-End optischer Profilometer der keine Wünsche offen lässt. Er kombiniert sämtliche verfügbaren Messmodi in einem Gerät und ist damit universell einsetzbar. Die neue Gerätegeneration wurde um zwei zusätzliche Messmodi erweitert: Confocal Fusion und Continuous Confocal. Ersterer kombiniert mit Hilfe eines intelligenten Algorithmus die jeweils besten Signale eines konfokalen Scans und einer Fokusvariationsmessung und steigert damit die Qualität von Messungen an kritischen Proben erheblich. Der Continuous Confocal Mode hingegen nutzt das konfokale Signal, scannt aber nicht ebenenweise wie im herkömmlichen Konfokalmodus, sondern mit kontinuierlicher Geschwindigekit wie im Fokusvariationsmodus. Dadurch kann die Messgeschwindigkeit nahezu ohne Qualitäsverlust nahezu verdreifacht werden.
Die S neox Broschüre sehen Sie hier.
S NeoxNEW Fünf Achsen
The S neox Five Axis 3D Optical Profiler combines a high-accuracy rotational module with advanced inspection and analysis capabilities. This enables automatic 3D surface measurements at defined positions which are combined to create a complete 3D volumetric measurement.
Alternatively, it is possible to perform automatic 3D surface measurements at specific positions around the sample to be analysed individually, to evaluate the surface texture, for example.
Three measurement techniques cover a wide range of scales, including form (Ai focus variation), sub-nanometric roughness (interferometry) or critical dimensions that require both high lateral and vertical resolution (confocal).
Hier ein Video in welchem der Sneox Fünf-Achsen 3D Optische Profilometer vorgeführt wird.
Mit diesem Link erhalten Sie Zugang zu einem aufgezeichneten Webinar für Dentalimplantat Anwendungen.
Die S neox Five Axis Broschüre sehen Sie hier.
S lynx
Das S lynx ist ein vielseitiger, optischer 3D Oberflächen Profilometer für den Einsatz in der Industrie und der Forschung. Mittels dem S lynx können die unterschiedlichsten Texturen, Strukturen, Oberflächenrauheiten und Welligkeiten über unterschiedlichste Grössenordnungen gemessen werden. Die 3-in-1 Technologie vereint im selben Messkopf Konfokal, Interferometrie und Fokus- Variation als unterschiedliche Messmethoden.
Das System ist mit einer motorisierten Z-Achse mit 40 mm Verfahrweg und hoher Positioniergenauigkeit ausgestattet. Zudem verfügt es über einen manuellen XY Probentisch mit 40 mm x 40 mm Verfahrweg sowie einen tip-tilt Goniometer.
Die haupt Anwendungen sind in den Gebieten der Automobilindustrie, Elektronik, LCD, Materialforschung, Mikroelektronik, Mikroherstellung, Optik, Werkzeugherstellung, Halbleiter und Uhrenindustrie.
Mit diesem Link gelangen Sie zur S lynx Broschüre.
S wideNEU
Das S wide ist ein optisches Metrologie System welches grosse 3D Oberflächen bis 300 x 300 mm mittels Streifenprojektion charakterisiert und vermisst.
Das Messgerät integriert die Vorzüge eines digitalen optischen Mikroskops mit einem hochauflösenden 3D Messgerät. Das System ist extrem einfach in der Anwendung mit einem ein-Knopf Messsystem.
Das S wide besteht aus einem System mit zwei grundlegenden Konfigurationen: Als Tischgerät oder als Sensorkopf zur Integration in eine Produktionsumgebung.
Sehen Sie hier ein Webinar (in Englisch) zum S wide.
Mit diesem Link gelangen Sie zur S wide Broschüre.
S mart
Der kompakte S mart 3D Sensor Profiler misst und charakterisiert 3D Oberflächen. Er ist für den Einbau in bestehende Produktionsanlagen zur Qualitätskontrolle und Produktionssteuerung konzipiert. Durch die Kombination von drei Messmethoden (Sensofar’s 3-in-1 Technologie) können praktisch alle Arten von Oberflächen, von rauh bis glatt, spiegelnd, transparent, dunkel oder hell gemessen werden. Die drei Messmethoden (Konfokal, Interferometrie (VSI) und Fokus Variation) werden dank der patentierten Mikrodisplay Technologie in einem Sensorkopf vereint. Die dadurch verfügbare Vielseitigkeit garantiert maximale Flexibilität und Anpassungsfähigkeit für unterschiedlichste Probenoberflächen.
Der S mart Sensor besteht aus einem Sensorkopf, einer Steuerelektronik und einem PC mit Software.
Die Broschüre finden Sie hier.
S onix
Ein neuer, ultraschneller Weißlichtsensor, der die hochaufgelöste, dreidimensionale Erfassung von Oberflächen in ca. 3 Sekunden ermöglicht und damit bis zu 7x schneller ist als herkömmliche weißlichtinterferometrische Messungen, bei Höhenauflösungen von 1nm.
Mit bis zu 14m Kabellänge zur Kontrollelektronik ist der Sensor ideal in der Prozesskontrolle bzw. an Roboter montiert einsetzbar.
Anwendungen (mit Links zu Anwendungsbeschreibungen)
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- Generelle dimensionale Vermessungen und Materialforschung
- Uhrenindustrie, Micromechanische Teile
- Werkzeuge (z.B. Schneidwerkzeuge), Implantate
- Dental
- Medizinische Geräte
- Microkanäle
- Additive Fertigung
- Ballistik / Forensik
- Luftfahrt & Automobil
- Optik & Optoelektronik
- Photovoltaik
- Moderne Herstellungsverfahren
- Nanotechnologie
- Mikroelektronik, Leiterplatten
- Dünne Schichten
- Chemical Mechanical Planarization (CMP)
