Sensofar optische Profilometer

Sensofar ist einer der führenden Hersteller optischer Profilometer.

Unter Verwendung einer patentierten Displaytecknik gelingt es dem Hersteller erstmals die wichtigsten optischen Messmodi in einem sehr kompakten Messgerät zu vereinen: Konfokalmikroskopie, Interferometrie und Fokusvariationstechnik.

Der Wechsel zwischen den verschiedenen Messtechniken erfolgt innerhalb weniger Sekunden, wodurch es möglich wird, in kürzester Zeit ein äußerst breites Spektrum unterschiedlichster Proben zu vermessen.

Das Einsatzgebiet reicht dabei von der Rauheitsmessung auf extrem glatten Oberflächen mit einer vertikalen Auflösung von 0.01nm im Interferometriebetrieb über die Vermessung rauer, sehr schlecht reflektierender Oberflächen mit Flankenwinkeln von bis über 70 Grad im Konfokalmodus zur Formmessung beispielsweise von Werkzeugen mit Winkeln bis zu 86 Grad.

Durch den Einsatz sehr kurzwelliger blauer LEDs mit kurzer Kohärenzlänge als Beleuchtungseinheit wird auch lateral die höchstmögliche optische Auflösung garantiert. Das innovative Beleuchtungskonzept kommt dabei ohne jegliche bewegliche Bauteile im Messkopf aus und vermeidet daher die typischen Nachteile herkömmlicher Konfokaler Laserscanning oder Nipkowdisk-basierter Systeme.

Als Option steht auch eine Schichtdickenmesseinheit für sehr dünne, transparente Schichten ab 50nm mit einer Auflösung von 0.1nm zur Verfügung.

 

 

Die Produktpalette umfasst folgende Geräte:

 

S Neox

Das S Neox ist ein High-End optischer Profilometer der keine Wünsche offen lässt. Er kombiniert sämtliche verfügbaren Messmodi in einem Gerät und ist damit universell einsetzbar. Die neue Gerätegeneration wurde um zwei zusätzliche Messmodi erweitert: Confocal Fusion und Continuous Confocal. Ersterer kombiniert mit Hilfe eines intelligenten Algorithmus die jeweils besten Signale eines konfokalen Scans und einer Fokusvariationsmessung und steigert damit die Qualität von Messungen an kritischen Proben erheblich. Der Continuous Confocal Mode hingegen nutzt das konfokale Signal, scannt aber nicht ebenenweise wie im herkömmlichen Konfokalmodus, sondern mit kontinuierlicher Geschwindigekit wie im Fokusvariationsmodus. Dadurch kann die Messgeschwindigkeit nahezu ohne Qualitäsverlust nahezu verdreifacht werden.

 

 

S Lynx

Das S Lynx ist der „kleine Bruder“ des S Neox, ein kompakter optischer Profilometer, der ebenfalls bereits die Messmodi Konfokalmikroskopie, Weißlichtinterferometrie und Fokusvariation vereint. Er ist mit einer weißen LED und einem manuellen XY-Tisch ausgestattet und ist ein sehr gutes Einstiegsgerät.

 

 

 

S Mart

Das S Mart ist eine äußerst kompakte Variante des S Neox und damit ideal zur Integration in bestehende Anlagen geeignet. Anders als das S Neox besitzt es jedoch nur eine weiße Lichtquelle, so dass folgende Messmodi zur Verfügung stehen:

Konfokalmikroskopie, Weißlichtinterferometrie, Fokusvariation, Continuous Confocal und Confocal Fusion.

 

S Onix

Ein neuer, ultraschneller Weißlichtsensor, der die hochaufgelöste, dreidimensionale Erfassung von Oberflächen in ca. 3 Sekunden ermöglicht und damit bis zu 7x schneller ist als herkömmliche weißlichtinterferometrische Messungen, bei Höhenauflösungen von 1nm.

Apex

Das Apex ist ein speziell für die Vermessung von sphärischen und asphärischen Linsen sowie Freiformflächen konstruiertes Gerät. Zum Einsatz kommt die proprietäre „Konfokal Tracking“ Technologie, die das optische Abtasten der Oberfläche – ähnlich einem mechanischen Profilometer – ermöglicht, jedoch komplett berührungslos und damit zerstörungsfrei arbeitet. Unter Verwendung von Objektiven mit hoher Numerischer Apertur sind Flankenwinkel bis 65Grad und damit auch Linsen mit sehr kleinen Radien messbar. Dabei können Messgeschwindigkeiten bis zu 1mm/sec erreicht werden.

 

 

Anwendung

  • Messen von Oberflächentopologie, Oberflächentopographie, Rauhigkeit, Profil.
  • Sehr glatte Oberflächen im Bereich von Nanometer Rauhigkeiten bis sehr rauhe Oberflächen.
  • Halbleiterstrukturen, MEMS, MOEMS, Solartechnologie.
  • Messen dünner, transparenter Schichten von einigen Nanometern bis einige hundert Mikrometer.
  • Interferometrie; Konfokal-Messtechnik, optische Profilometrie
  • Linsenradien, asphärische Linsen
  • Qualitätskontrolle in Produktionsumgebung
Extended topographyMem accelerometre porcioMicrolentsSolder Balls
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