Vakuummessung und -regelung

Teledyne Hastings Instruments bietet zuverlässige Lösungen für die Vakuummessung und -regelung im Labor- und im industriellen Umfeld.

Die Firma Teledyne Hastings Instruments verfügt über jahrzehntelange Erfahrung auf diesem Gebiet und bietet ein komplettes Sortiment an Vakuummess- und Regelgeräten an. Der renommierte Hersteller der bekannten Thermoelement-Vakuummessröhren DV-4, DV-5 und DV-6 fertigt Vakuummessgeräte von außergewöhnlicher Stabilität, Genauigkeit und Zuverlässigkeit.

Die Produkte von Teledyne Hastings Instruments werden routinemäßig auch unter den anspruchsvollsten Bedingungen in Anwendungen auf der Straße, Schiene und im Schiffsverkehr eingesetzt. THI Produkte sind im wahrsten Sinne des Wortes zum Mond und wieder zurück geflogen! Nutzen Sie diese Robustheit und Zuverlässigkeit auch für Ihre Anwendung.

Mehr zu Anwendungen finden Sie im Blog von Hastings

Piezo-Pirani Vakuummessgerät HVG-2020B

Das Vakuummessgerät HVG-2020B vereinigt zwei Sensoren, einen piezobasierten Wandler und einen thermobasierten Pirani-Sensor, in einem einzigen kleinen Gehäuse. Der Piezo-Sensor wird bei höheren Drücken über 10 Torr eingesetzt, ist medienisoliert und gasartunabhängig.

Der Pirani-Sensor ist ein präzisionsgeschweißter Hitzdraht-Thermosensor, der Drücke unterhalb von 1 Torr misst. Ein thermischer Sensor der die Umgebungstemperatur misst, ermöglicht es Temperaturanpassungen vorzunehmen was wiederum zu einer höheren Genauigkeit über den gesamten Druckbereich des Gerätes (0,1 mTorr bis 1000 Torr) führt. Um den Druck zwischen 1 und 10 Torr zu bestimmen wird ein gewichteter Mittelwert der beiden Sensoren gebildet. Das HVG-2020B ermöglicht auch eine Kreuzkalibrierung. Kurz gesagt, der Niederdruck-Pirani ist in der Lage, periodisch einen Nullabgleich des Piezosensors vorzunehmen, was dem Anwender eine überragende Genauigkeit gewährleistet.

Das HVG-2020B ist einfach zu installieren und das optionale Display bietet dem Benutzer mehrere, verschiedene Ansichten oder Betriebsarten. Es ist sehr flexibel und kann sowohl eine Vielzahl von analogen als auch digitale Ausgänge zur mühelosen Integration in eine Prozesssteuerung bereitstellen. Damit ist das HVG-2020B besonders geeignet um teure Kapazitätsmanometer zu ersetzen.

Für das HVG-2020B ist eine Windows-basierte Software zur Datenerfassung kostenlos erhältlich.

  • Zwei Sensoren in einem kompakten Gehäuse
  • Weiter Messbereich von 0,1 mTorr bis 1000 Torr
  • Excellente Genauigkeit
    • 10 Torr – 1000 Torr  ± (0,1% vom Messwert + 0,3 Torr)
    • 1 mTorr –     10 Torr  ± (   5% vom Messwert + 0,25 mTorr)
    • 0,2 mTorr –    1 mTorr  ± (10%  vom Messwert + 0,25 mTorr)
  • Touchscreen Anzeige/Bedienung; optional
  • Flexible I/Os
  • USB-Anschluss
  • 0-1 VDC, 0-5 VDC, 0-10 VDC log & linear
  • -20 mA, 4-20 mA log & linear
  • Digitale Schnittstelle RS232 / RS485
  • Verschiedene Ansichten/Modi
    • Druck/Zeitverlauf
    • Balkendiagramm
    • Sollwert-Status
  • NIST rückführbare Kalibrierung

Piezo Vakuummessgerät HVG-2020A

Das Vakuummessgerät HVG-2020A ist ein medienisoliertes, gasartunabhängiges, piezoresistives Instrument, das eine genaue Druckmessung im gesamten Grobvakuumbereich ermöglicht. Im Gegensatz zu thermischen Vakuummessgeräten misst das HVG-2020A den Druck im System direkt. Es leitet den Druck nicht aus der Messung der Wärmeleitfähigkeit des Gases ab. Das bedeutet, dass die Messwerte nicht von der Art des verwendeten Gases abhängen.

Das HVG-2020A ist einfach zu installieren und das optionale Display liefert dem Benutzer mehrere, verschiedene Ansichten oder Arbeitsmodi. Die „Druck über Zeit“-Darstellung ermöglicht es dem Benutzer Abpump- oder Belüftungsvorgänge an seinem Vakuumsystem zu überwachen. Die angezeigte Anstiegsrate kann z.B. auf das Vorhandensein eines Vakuumlecks in einer Vakuumkammer hinweisen. Eine andere Möglichkeit Systemdruckänderungen graphisch darzustellen bietet die Balkenanzeige/Bargraph-Modus.

Das HVG-2020A ist sehr flexibel und kann sowohl eine Vielzahl von analogen als auch digitale Ausgänge zur einfachen Einbindung in eine Prozesssteuerung zur Verfügung stellen. Die digitalen RS232 und RS485 Schnittstellen können über eine kleine Buchse an der Oberseite des Gerätes unterstützt werden. Bei vielen Modellen ist auch ein USB-Anschluss erhältlich, was die Inbetriebnahme und Bedienung sehr einfach macht.

Für das HVG-2020A wird eine kostenlose, Windows-basierte Software zur Datenerfassung mitgeliefert.

  • Messbereich 0,1 to 1000 Torr
  • Ausgezeichnete Genauigkeit ±(0,1% vom Messwert +0,5 Torr)
  • Medienisoliert; Medienberührte Werkstoffe: 304, 316 SS
  • Touchscreen Anzeige/Bedienung; optional
  • 0-1 VDC, 0-5 VDC, 0-10 VDC linear
  • 0-20 mA, 4-20 mA linear
  • RS232 / RS485
  • USB
  • Verschiedene Ansichten/Modi
  • Gasartunabhängig
  • Kontaminationsbeständig

Thermoelement-Vakuummessröhren/Sensoren

Der Industriestandard für kostengünstige Vakuummessgeräte.

Von der Kältetechnik bis zum Vakuumofen, von der Gefriertrocknung bis zur pharmazeutischen Produktion – die Thermoelement-Messröhren der DV-Serie arbeiten unter den anspruchsvollsten Bedingungen oder in rauen Umgebungen und sind die wirtschaftlichste Lösung für die meisten Mess- und Regelungsaufgaben bei niedrigen und mittleren Vakuumdrücken.

DV-4 Serie
Messbereich: 0,1 bis 20 Torr

 

DV-5 Serie
Messbereich: 0,1 bis 100 mTorr

 

DV-6Serie
Messbereich: 1 bis 1000 mTorr

Teledyne Hastings Thermoelement-Vakuummessröhren/Sensoren sind korrosionsbeständig und sowohl hinsichtlich der Temperatur als auch hinsichtlich der Temperaturänderungsrate vollständig kompensiert. Das robuste, einfach zu installierende Messsystem wandelt eine thermoelektrische Spannung in einen Vakuumdruck um, der von der Dichte des Gases abhängt.

Wählen Sie aus verschiedenen Anschluss- und Materialvarianten.

Die Röhren der Serie DV-4 /DV-5 / DV-6 können mit einer Vielzahl von Teledyne Hastings‘ Vakuummessern oder –reglern kombiniert werden, um zuverlässige und kostengünstige Messungen in einer Vielzahl von Anwendungen zu ermöglichen.

Wird die Thermoelement-Messröhre ausgetauscht ist keine Neukalibrierung der THI-Vakuummesser oder -regler erforderlich, wodurch Prozessstillstandzeiten weiter reduziert werden. Die Performance der Vakuummeter/-regler kann jedoch mit Hilfe unserer Referenzröhren DB-16D / DB-18 / DB-20 verifizieren werden. Zur Ergänzung bieten wir passendes Installationszubehör an.

HPM 4/5/6 Tragbares Vakuummessgerät

Das HPM 4/5/6/6 von Teledyne Hastings Instruments ist ein tragbares, batteriebetriebenes digitales Vakuummessgerät. Sein Ruf basiert auf außergewöhnlicher Stabilität, Genauigkeit und Zuverlässigkeit auch unter den anspruchsvollsten Bedingungen.

Das HPM 4/5/6 verfügt über einen präzisen A/D-Wandler und einen Mikroprozessor um das Ausgangsignal einer Thermoelement-Vakuummessröhre zu messen. Der Mikroprozessor wandelt die Messung in einen Druckwert um, indem er das genau definierte Verhältnis zwischen Ausgangsignal und Druck der Messröhre verwendet. Das Ergebnis wird auf einem hellen, leicht lesbaren Graphikdisplay angezeigt.

Das HPM 4/5/6/6 arbeitet mit drei der beliebtesten Messröhren von THI: DV-4 (0,1 – 20 Torr), DV-5 (0,1 – 100 mTorr) und DV-6 (1 – 1000 mTorr) die an das System angepasst und ohne weitere Kalibrierung austauschbar sind.

Messröhren und Referenzröhren werden separat angeboten.

 

  • Bewährte Zuverlässigkeit
  • Anzeige in Torr/mbar/Pa
  • Leicht lesbares graphisches Display
  • Lange Batterielebensdauer
  • Batteriezustandsanzeige
  • Abnehmbares Kabel
  • Einfache Installation und Bedienung
  • Kostengünstig

DAVC Digitaler Aktiver Vakuum-Regler mit linearem Ausgang

Das Digital AVC (DAVC) ist ein mikroprozessorgesteuertes Vakuummessgerät ohne Anzeige und kann mit Hastings DV-4, (0,1 – 20 Torr), DV-5 (0,1 – 100 mTorr) und DV-6 (1 – 1000 mTorr) Vakuummessröhen verwendet werden.

Das System ist in einem kleinen Aluminiumgehäuse mit Bedienelementen/-anzeigen und einem 9-poligen Sub-D Stecker auf der oberen Abdeckung integriert.

Der DCVT verfügt über mehrere erweiterte Funktionen, die ihn zu einer attraktiven Lösung für viele Automatisierungsanwendungen im Bereich der Vakuumregelung machen. Er ist mit einem linearen Analogausgang (Spannung oder Strom) zur Steuerung der Vakuummessung über eine SPS oder ein anderes Datenerfassungssystem ausgerüstet. Darüber hinaus bietet der DCVT eine RS232-Schnittstelle zum direkten Anschluss an einen PC. Der DCVT stellt ebenfalls zwei unabhängige, freiwählbare Sollwertrelais für die Prozesssteuerung bereit.

Das Gerät ist einfach zu bedienen und kann überall installiert werden.

 

  • Kleine Bauform, kleiner Preis, große Performance
  • Nachweislich zuverlässig / Minimale Ausfallzeiten
  • Linearer Analogausgang: 0 ‐ 1 VDC / 0 ‐ 5 VDC / 0 ‐ 10 VDC;
    0 ‐ 20 mA / 4 ‐ 20 mA
  • Nichtlinearer verstärkter Röhrenausgang: 0 ‐ 1 VDC
  • Digitale Schnittstelle ‐ RS232
  • TTL-Sollwert für die Prozessregelung (mit/ LED)
  • 11 – 32 VDC Eingang
  • CE-konform: EN61326

VT/CVT Analoge Vakuummessgeräte und -regler

Die Vakuummessgeräte der VT-Serie von Teledyne Hastings Instruments (THI) überzeugen durch außergewöhnliche Stabilität, Genauigkeit und Zuverlässigkeit unter schwierigsten Bedingungen.

Die VT-Serie deckt drei Vakuumbereiche ab: 0-100 mTorr, 0-1000 mTorr und 0-20 Torr. Die eigenständige Messschaltung ist auf der Rückseite des direkt anzeigenden Instrumentes angebracht. Alle Vakuummessgeräte der VT-Serie zeichnen sich durch eine lange Lebensdauer und minimale Wartung aus. Diese Instrumente verwenden die robusten, aber empfindlichen Edelmetall-Thermoelement-Messröhren (DV-4, DV-5, DV-6) von THI, die speziell für jeden Messbereich ausgelegt sind und ohne zusätzliche Kalibrierung austauscht werden können.

Die THI Vakuum-Regler der CVT-Serie sind vollautomatische, kontinuierlich anzeigende Geräte mit unbegrenzten Einsatzmöglichkeiten. Diese Regler decken die gleichen Messbereiche wie die VT-Vakuummeter ab und verfügen zusätzlich über zwei frei wählbare Regelgrenzen. Die Regelung erfolgt über langlebige einpolige 5 Ampere Wechselschalterrelais, die als normal offen oder als normal geschlossen konfiguriert werden können.

 

 

DVT/DCVT Digitale Vakuummessgeräte und -regler

Die Anzeigegeräte DVT & DCVT von Teledyne Hastings Instruments sind digitale Versionen der erfolgreichen Hastings VT/CVT-Serie. Sie sind in einem 1/8 DIN-Gehäuse untergebracht das für den Schalttafeleinbau geeignet ist. Die digitalen VT/CVT-Vakuummessgeräte können mit den gebräuchlichsten Vakuummessröhren von THI DV-4, DV-5 und DV-6 betrieben werden

Sie verfügen über einen präzisen A/D-Wandler und einen Mikroprozessor um das Ausgangsignal einer Thermoelement-Vakuummessröhre zu messen. Der Mikroprozessor wandelt die Messung in einen Druckwert um, indem er das genau definierte Verhältnis zwischen Ausgangsignal und Druck der Messröhre verwendet. Der Messwert wird über eine helle 3-stellige grüne LED-Anzeige ausgegeben.

Der DCVT verfügt über mehrere erweiterte Funktionen, die ihn zu einer attraktiven Lösung für viele Automatisierungsanwendungen im Bereich der Vakuumregelung machen. Er ist mit einem linearen Analogausgang (Spannung oder Strom) zur Steuerung der Vakuummessung über eine SPS oder ein anderes Datenerfassungssystem ausgerüstet. Darüber hinaus bietet der DCVT eine RS232-Schnittstelle zum direkten Anschluss an einen PC. Der DCVT stellt ebenfalls zwei unabhängige, freiwählbare Sollwertrelais für die Prozesssteuerung bereit.

 

NIST rückführbare Referenzröhren

Die Referenzröhren DB-16D, DB-18 und DB-20 von Teledyne Hastings Instruments ermöglichen eine schnelle und einfache Rekalibrierung der THI-Vakuummessgeräte, indem man das Gerät einfach an die Referenzröhre anschließt und das Kalibrierpotentiometer so einstellt, dass das Gerät genau den auf der Referenzröhre genannten Druck anzeigt. Der Benutzer weiß nun, dass sein Gerät korrekt kalibriert ist.

THI Referenzröhren verwenden die gleiche Edelmetall-Thermosäule, die in allen THI Thermoelement-Vakuummessröhren verwendet wird. Die Thermosäule ist in einer Glaskapsel untergebracht, die evakuiert, ausgeheizt, ausgegast, versiegelt und ausgehärtet wurde, um Stabilität über lange Zeiträume zu gewährleisten. Für eine zuverlässige und problemlose Montage wird die Glaskapsel dann in einem schützenden Metallgehäuse untergebracht.

  • Sofortige Überprüfung der Kalibrierung
  • Rekalibrierung von Hastings Messgeräten
  • Passt Messgeräte für jede Kabellänge an
  • Stabil, genau, robust und zuverlässig

Anwendungen und Branchen

  • Halbleiter-Prozesse
  • Kryotank
  • Plasmabeschichtung
  • Load Lock
  • Laboranwendungen
  • Vakuumöfen
  • Kältetechnik / HLK
  • Transformatorenölaufbereitung
  • Kryotechnik/Vakuumisolierung
  • Gefriertrocknung
  • Pharmazeutische Fertigung
  • Gloveboxen
  • Gerätebau
  • Leuchtenfertigung
  • Teilchenbeschleuniger
  • Sputtern
  • Lasersysteme
  • Chemische Forschungslabore
  • Luftprobenahme
  • Überwachung zentraler Vakuumversorgung
  • Medizinische Forschung
  • Vakuummetallurgie
  • Dünnfilmbeschichtung
  • Kälte- und Klimatechnik

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