Lösungen für REM-, FIB- und TEM-Kontamination
Die ibss Group hat es sich zur Aufgabe gemacht, nicht nur den schnellsten, sichersten und effizientesten Plasmareiniger auf dem Markt anzubieten, sondern auch langfristige Beziehungen zu den Kunden und Betreibern des GV10x aufzubauen und zu pflegen, indem sie schnelle Reaktionszeiten und gründliche Erklärungen und Unterstützung bietet, die die Erwartungen übertreffen.
GV10x DS Asher
Die Entfernung von Kohlenstoffverunreinigungen durch den GV10x Downstream Asher stellt einen wichtigen Fortschritt gegenüber herkömmlichen Methoden zur Verringerung von Verunreinigungen wie Kühlfallen, Stickstoffspülung und anderen Plasmareinigern dar. Durch seinen erweiterten Spannungs- und Druckbereich (5 bis 100 Watt und 2 bis <0,005 Torr) beweist der GV10x ein Umdenken in der Kohlenstoff-Kohlenwasserstoff- Kontrolle in SEMs und anderen Vakuumsystemen. Atomarer Sauerstoff und Wasserstoff beseitigen die Verunreinigungen, indem sie den Oberflächenkohlenstoff in Gasphasemolekühle umwandeln, die dann aus den Kammern gepumpt und nicht nur immobilisiert oder vorübergehend eingeschlossen werden. Die ibss Group, Inc. bietet zwei verschiedene Controller zur Stromversorgung und Steuerung von GV10x-Plasmaquellen an. Ob ein BT-Controller oder 2U-Controller genutzt wird, hängt von der Präferenz des Nutzers ab. Die ibss-GUI-Software ist mit beiden Controllern steuerbar.
GV10x UHV DS Asher
Im Internet zu findende Konkurrenzgeräte können zwar Hochvakuum (HV)-, aber nicht Ultra- Hochvakuum (UHV)- kompatibel. Der Betrieb von Hochvakuum-Plasmaquellen an Ultra-Hochvakuum-Systemen erfordert kostenintensive Komponenten wie z. B. Absperrventile sowie Vorpumpen-Systeme. Der GV10x UHV DS Asher ist dafür ausgelegt, nach Plasmareinigung der UHV-Vakuumkammer (im Millitorr-Bereich) ohne Unterbrechung des Vakuums an der Kammer zu verbleiben. Diese einzigartige in-situ-Plasmaquelle macht ein kostspieliges Absperrventil und eine Vorpumpe überflüssig. Durch ein innovatives Plasmaquellendesign reduziert der GV10x UHV Downstream Asher die Kohlenwasserstoffverunreinigung auf Synchrotronoptiken 10- bis 20-mal effektiver und >10-mal schneller als herkömmliche Methoden und Plasmareiniger.
Mobiler Cubic Asher (MCA)
Ein mobiler Plasma-Aufbau, welcher SEM/TEM-Proben und -Probenhalter sowie verschiedene andere Gegenstände in einer kleinen Kammer reinigt, lagert und prozessiert. Der Qwk-Switch™-Adapter erleichtert die Verringerung von Kohlenwasserstoff durch in-situ-Kammerreinigung in SEM- oder Ionenfeinstrahlanlagen (FIB). Die MCA-Kammer nimmt eine Auswahl an Proben auf, um Kohlenwasserstoffe zu entfernen, Oberflächen zu hydrophilisieren, drei TEM-Halter und Proben mit ibss Signatur GV10x Downstream-Plasma zu lagern und zu reinigen, die auf einem tragbaren S/S-Wagen montiert sind.
Chiaro
Ähnlich wie MCA, aber durch turbomolekularen Druck und Geschwindigkeit gekennzeichnet. Nach Belieben kann ein optisches Mikroskop angebracht/aufgesetzt werden, um Proben während der Plasma-Konditionierung zu beobachten sowie um ein mögliches Leck an Flüssigkeits-/Gas-Probenzellen zu detektieren. Plasmabearbeitung bei niedrigerem Vakuumdruck erhöht die Plasma-Aktivität während des Bearbeitungsprozesses. Um den Anforderungen an die Beobachtung von Gas- und Flüssigkeitsprobenzellen in TEM-Probenhaltern gerecht zu werden, führt der Chiaro die Funktionen der Leckprüfung, der Beobachtung der Gas/Flüssigkeits-E-Chips während der Montage, der Oberflächenhydrophilierung und der Plasmabearbeitung aus.
MCA Plasmaspeicher-Erweiterung 3
Die Kapazität der MCA-Kammer kann mit der Option Storage Expansion 3 auf bis zu 9 TEM-Halter erweitert werden. Diese Speichererweiterung für MCA nutzt die leistungsstarken Fähigkeiten und die Flexibilität des MCA der ibss-Groupe.
SPex TEM-Halterungshülse für MCA-Plasmareiniger
SPex TEM-Halterungshülse erweitert die Möglichkeiten des MCA um die Funktionalität von TEM-Haltern. SPex für MCA nutzt die leistungsstarken Fähigkeiten und die Flexibilität der ibssGroup MCA Plasmareinigungsstation.
Anwendungen
Weltweit ist der GV10x-DS-Asher unter den Elektronenmikroskop Nutzern dafür bekannt, Kohlenstoffverunreinigung von EM-Proben und -Kammern zu entfernen. Verbesserungen der Verschmutzungsanalyse gegenüber traditionellen Methoden, wie z. B. der ersten Generation von Plasmareinigern, Kühlfallen (LN2 Trapping), oder Stickstoffspülung (N2 Purge), bieten EM-Forschern die Möglichkeit, Kohlenstoffpartikel in Minuten zu entfernen und Kammerverunreinigungen zu verhindern.
Die verbesserte Leistungsfähigkeit des GV10x entsteht durch die Produktion von Niederdruckplasma. Durch die langsame Rekombination vom Plasma und der großen mittleren freien Weglänge der Elektronen verbreiten sich die hellen UV Strahlen durch die gesamte Kammer. Durch die Kombination aus chemischer Wechselwirkung und dem großen Leistungsbereich wird der Kohlenstoff auf Oberflächen in gasförmige Moleküle umgewandelt, die dann aus der Vakuumkammer gepumpt werden – während „Trapping“ lediglich die Moleküle auf Oberflächen bewegungsunfähig macht.
Um alle mikroskopischen Geräte im Labor verschmutzungsfrei zu halten, kann der leistungsfähige GV10x-DS-Asher zwischen den verschiedenen Instrumenten gewechselt werden. Das Wechseln des GV10x zwischen den verschiedenen Instrumenten ist mit Hilfe des Qwk-Switch™, einem QSTM-Adapter schnell und einfach möglich. Die Reinigungszeit ist vom Verschmutzungsgrad der Geräte abhängig.
Mit den Fortschritten in der Nanowissenschaft können Elektronenstrahlen feiner gebündelt werden, benötigen weniger Energie, und der Einsatz von Prozessgasen nimmt zu. Das Auflösungsvermögen bei geringer Auftrittsenergie ist stark von der Verringerung der Kohlenstoffverschmutzung abhängig. Der Downstream-Asher führt diesen Plasmaprozess schnell, effektiv und kompromisslos durch und spart somit dem Betreiber wertvolle Zeit. Eine wesentliche Zeitersparnis ist auch dadurch gegeben, dass der Plasmareiniger betrieben werden kann, ohne das Vakuum zu brechen. Ein Eingriff in die Vakuumlogik ist nicht notwendig. Das erzeugte gleichmäßige Plasma (nicht pulsierend) kann trotz laufender Turbo Pumpe erzeugt werden. Im Gegensatz zum klassischen Plasmaätzer mit einem kinetischen Sputterätzvorgang, ist der Downstream-Plasmaprozess ein sanftes chemisches Reinigen. Dieser Prozess hat die Methoden zur Entfernung von Kohlenstoffmolekülen und Kohlenwasserstoffen in Vakuumkammern revolutioniert.
REM-, FIB- und TEM-Anwendungen
Die Plasmareinigung ist die am wenigsten invasivste aber effektivste Methode, um Proben für die EM-Mikroskopie aufzubereiten, wenn bei Materialien eine Gasentwicklung auftritt. Während des Plasmareinigungsprozesses können nicht nur Kohlenwasserstoffschichten, sondern auch andere Kohlenstoffstrukturen abgebaut werden. Das kann bei der TEM Anwendung ein Problem darstellen, weil das Kohlenstoff beschichtete Trägernetz mit jeder Reinigung dünner wird. ibss bietet ein nicht-kinetisches, aber sanftes Verfahren an, das die Nebenwirkungen der Interaktion von Plasmaproben verringert. Die Ergebnisse zeigen, dass dieses System effektiv Verunreinigungen entfernt und gleichzeitig den Kohlenstoff-Trägerfilm während der Reinigungszyklen schont.
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Schleusenkammer (Load Lock)
Bei der Installation des Downstream-Asher GV10x an der Schleusenkammer werden die Proben und die Schleusenkammer vollautomatisch gereinigt. Die Vorreinigung in der Schleusenkammer reduziert die Kammerverschmutzung und verringert die Häufigkeit der Kammerreinigung. Um die Kammer zu reinigen, kann die Schleusentür geöffnet werden. Bei Verwendung eines Qwk-Switch™ Adapters kann die Plasmaquelle schnell von einer System Schleuse auf die nächste umgebaut werden. Bitte kontaktieren Sie uns, wenn Sie an ibss-Lösungen von Schleusenkammerkonfigurationen interessiert sind.