GBS
Weisslicht-Interferometer
Die Weißlichtinterferometrie gehört zu den bewährten optischen Messtechniken zur Aufnahme von 3D-Topographien mit Tiefenauflösung im unteren Nanometerbereich. Da die Messpunkte parallel erfasst und verarbeitet werden, kann die Höheninformation in sehr kurzer Zeit großflächig erfasst werden.
Die Produktfamilie smartWLI bietet innovative Lösungen nach diesem Messprinzip. Die Steuerung und Analyse des gesamten Messprozesses erfolgt mit der bewährten Software smartWLI. Die effizienten, robusten und hochgenauen Analysealgorithmen sind das Ergebnis umfangreicher Forschung und Erfahrung auf diesem Gebiet.
Typische Anwendungen in der Forschung und im Qualitätsmanagement sind die Charakterisierung von Oberflächen mit unterschiedlichen Rauheitskennwerten (Waferstrukturen, Spiegel, Glas, Metalle), die Bestimmung von Stufenhöhen und die genaue Vermessung von gekrümmten Flächen wie Mikrolinsen.
SmartWLI Extended
Stand-alone 3D Oberflächen-Weißlichtinterferometer. Das System beinhaltet einen Objektivrevolver und einen motorisierten XY Tisch. So können auch Proben, die größer als das Blickfeld des Objektivs sind, vermessen werden (Stitching).
SmartWLI Prime
Das SmartWLI-Prime erlaubt die Vermessung von Probenoberflächen mit Nanometer-Auflösung. Die anschließende Auswertung erfolgt am Laptop oder mit einem Desktop-PC.
Aufgrund seiner kompakten Bauweise kann das Gerät in den unterschiedlichsten Umgebungen eingesetzt werden. Typische Anwendungen sind – über den Forschungseinsatz hinaus – das Qualitätsmanagement und die Prozesskontrolle. Durch die schnelle und präzise Messtechnik eignet sich das SmartWLI-Prime optimal zur Bestimmung der nötigen Parameter für Produkt- und Prozessqualität.
SmartWLI Microscope
Klassische Lichtmikroskope können zu vollwertigen 3D-Profilometern aufgerüstet werden um deren Einsatzmöglichkeiten erheblich zu erweitern.
So können neben Mikroskopieaufnahmen auch präzise 3D-Daten der Oberfläche innerhalb des Blickfeldes des Objektivs vermessen und analysiert werden.
Als Upgrade verfügbar für alle gängigen Auflichtmikroskope verschiedenster Hersteller: Zeiss, Nikon, Mitutoyo, Olympus, Leica, etc.
SmartWLI Cylinderinspector
Weißlichtinterferometer, speziell zur berührungslosen Vermessung von zylindrischen Oberflächen.
