Rasterkraftmikroskopie-Lösungen auf Basis der Active Canilever-Technologie
Aktive Cantilever
Die aktiven Cantilever verfügen über einen integrierten thermomechanischen Aktuator sowie eine piezoresistive Wheatstone-Brücke zur Selbst-Detektion.
Dies ermöglicht einfach zu verwendende AFMs, die keinen Laser/Detektor benötigen, wie dies bei konventionellen AFMs mit passiven Cantilevern auf Basis optischer Strahlablenkung der Fall ist.
Die aktiven Cantilever ermöglichen hochauflösende Bildgebung bei Umgebungbedingungen (Luft), Flüssigkeit ( auch undurchsichtig) oder Vakuumumgebung.
Als Materialien der Mess-Spitzen gibt es z. B. Silizium oder Diamant.
Unterschiedliche Geometrien der aktiven Cantilever sind auf spezielle Anforderungen abgestimmt, darunter eine schnelle Bildgebungsgeschwindigkeit.
AFM-Kit
Dieses einzigartige, einfache und leicht anzubringende AFM bietet eine flexible Implementierung in Industrie- oder Forschungsaufbauten, ohne Kompromisse bei Auflösung oder der Mess-Geschwindigkeit einzugehen.
Der robuste, hochpräzise Antrieb gewährleistet eine reproduzierbare und sichere automatische Annäherung der Spitze an die Probe.
Das Spitzen-Scanning-Konzept ermöglicht die Verwendung mit unterschiedlichen Geometrien und Probengrößen – auch großen und schweren Proben.
Der „Plug-and-Play“-Mechanismus zum Cantilever-Austausch ist äußerst einfach.
Kronos AFM
Das Kronos-AFM ist eine „stand-alone“ Lösung, die verschiedene Betriebsmodi abdeckt:
- Rastersondenlithografie
- Oberflächenrauheit
- Berührungsloser Modus
- Kontaktmodus
- Profilometrie
- C-AFM
AFM in SEM
Das AFMinSEM ist ein Zusatz zu vorhandenen SEMs. Es kann unter Umgebungs- oder Vakuumbedingungen betrieben werden.
SEM, FIB und AFM können autonom oder gleichzeitig betrieben werden. Mithilfe des SEM identifiziert der Bediener einen Bereich von Interesse und misst dann mit dem AFM in 3D mit einer Auflösung von unter einem Nanometer.
In Kombination mit dem SEM/FIB kann das AFM für die korrelative Nanofabrikation verwendet werden.