Korrelative Sonden- und Elektronenmikroskopie
NenoVision LiteScopeTM
Rastersonden-Mikroskop zum Einsatz im REM
Das NenoVision LiteScopeTM ist ein Rastersonden-Mikroskop das zum einfachen Einbau in Elektronenmikroskope entwickelt wurde.
Das System erlaubt es, eine Probenfläche simultan mit SPM und REM zu charakterisieren, unter Verwendung desselben Koordinatensystems.
Die einzigartige CPEM-Funktion (Correlative Probe and Electron Microscopy), für die ein Patent angemeldet ist, macht das LiteScopeTM zu einer leistungsstarken Erweiterung für bestehende REM’s.
Das System ist insbesondere dann effektiv wenn konventionelle SEM Techniken keine ausreichende Information über die Probe liefern und eine Erweiterung auf 3D relevant ist.
Die CPEM-Technologie, mit korrelativer Bildaufnahme, ist eine ideale Methode für korrekte Analyse und einfache Interpretation der gemessenen Bilder.
Umfassende Probenanalyse, einschließlich:
- Charakterisierung der Probenoberfläche
- Mechanische Eigenschaften
- Elektrische Eigenschaften
- Magnetische Eigenschaften
Das LiteScopeTM kann auch mit anderen REM-Zusätzen kombiniert werden:
- FIB ( Focused Ion Beam)
- GIS ( Gas Injection System)
Die hergestellten Nano-oder Mikrostrukturen und modifizierten Oberflächen können in dieser Kombination mit dem LiteScopeTM einfach und schnell in 3D vermessen werden.
