KLA Tencor Stylus Profiler
Stylus Profiler
Stylus Profilometrie ist ein Verfahren zur direkten Messung der Oberflächentopografie, unabhängig von jeglichen Materialeigenschaften. Die Wahl der geeigneten Messspitze gewährleistet zusammen mit der Einstellung und Kontrolle der Andruckkraft ein präzises Abtasten eines großen Spektrums an Strukturen und Materialien. Ein Haupteinsatzgebiet ist die quantitative Prozesskontrolle für Materialabscheidung oder Materialabtrag. Zusätzlich können Änderungen anderer Schichtparameter wie Rauigkeit oder mechanischer Stress ermittelt werden.
Mit den Stylus Profilern der Alpha-Step® D-Serie und Tencor P-Serie bietet KLA Instruments™ hochpräzise Analysegeräte mit branchenführender Stabilität und Betriebszuverlässigkeit. Die Gerätemodelle umfassen einen weiten Anwendungsbereich vom kompakten Laborgerät für einfache Stufenhöhen- und Rauigkeitsmessungen bis hin zum automatisierten Produktionssystem in SECS/GEM Umgebung mit Wafer Handler und einer Reihe von Messoptionen für die 2D- und 3D-Oberflächenanalyse.
Stylus Profiler der Alpha-Step D-Serie
Die Alpha-Step Development Serie sind kompakte Stylus Profiler-Tischgeräte, die alle Messfunktionen enthalten, die für Entwicklungs- und Forschungsanwendungen benötigt werden. Technologie und Leistungsfähigkeit basieren auf der langjährigen Erfahrung von KLA Instruments™ im Sektor metrologische Messsysteme.
Die innovative Optical Lever Sensor-Technologie bietet hochaufgelöste Messungen in einem großen vertikalen Messbereich von bis zu 1.200µm bei gleichzeitig sehr kleinen Kräften von 0,03-15mg.
Eine 5MP Farb CCD-Kamera mit 4x Zoom und Keystone Bildkorrektur liefert dazu eine sehr detaillierten Blick auf die zu messenden Oberflächen zum Auffinden und Speichern von Messpositionen.
Die übersichtliche Benutzeroberfläche mit Multi-Dokument-Ansicht, erlaubt es dem Benutzer kontinuierlich Daten aufzunehmen, anzuzeigen und auszuwerten.
Alpha-Step® D-500
Kenndaten
- Probengröße: 140mm, 20mm Dicke
- Manuelle XY-Stage: 30mm Scanlänge
- Kleinste Stylus Profiler Stellfläche: 25cm x 39cm
- Benutzerfreundliche Mess- und Analysesoftware, inklusive Win 10, 64 bit PC
Alpha-Step® D-600
Kenndaten
- Probengröße: 200mm, 30mm Dicke
- Motorisierte XY-Stage: 55mm Scanlänge + Stitching
- Kleine Stellfläche: 38cm x 60cm
- Benutzerfreundliche Mess- und Analysesoftware, inklusive Win 10, 64 bit PC
Optionen:
- 3D Messfunktion und Datenanalyse
- 2D Thin Film Stress-Messoption
Stylus Profiler der Tencor P-Serie
Mit der Tencor Production Stylus Profiler Serie bietet KLA Instruments™ industrieführende Analyse- und Prozesskontroll-Tools an, die auf Basis von 40-jähriger Erfahrung auf dem Gebiet der Oberflächenmetrologie entwickelt wurden. Sie zeichnen sich aus durch marktführende Performance, Automatisierungsmöglichkeiten und hohen Durchsatz.
Durch die Kombination der UltraLite® Sensors, die während der gesamten Messung eine genaue Kontrolle der Andruckkraft gewährleisten und der Ultra-Flat Scanning Stages, die extrem ebene Scans über den gesamten Messbereich gewährleisten wird eine exzellente Messgenauigkeit und Stabilität erreicht.
Messrezepte können einfach und mit einer Vielzahl von Mess-, Automatisierungs- und Auswerte-Optionen erstellt und innerhalb von Messsequenzen für multiple Probenstellen, z.B. auf Wafer-Maps zusammengestellt werden.
Hochauflösungs-5MP Farbkameras für Top- und Side-View mit optischen Zoom und Point & Click Navigation erlauben ein komfortables Definieren von Messpositionen.
Ein umfangreiches Benutzermanagement-System erlaubt das individuelle Zuweisen von Berechtigungen für beliebig viele Gerätenutzer*innen.
Tencor™ P-7
Das Einstiegsmodell P-7 der Tencor P-Serie ist ein Table-Top Profiler mit einem sehr guten Preis-Leistungsverhältnis.
Es unterstützt 2D, 3D Rauigkeits- und Stufenhöhenmessungen, und 2D, 3D Bow- und Stressmessungen.
Kenndaten
- Motorisierte XY-Stage:
150mm Scanlänge ohne Stitching - Stufenhöhen: Nanometer bis 1.000µm
- Low force Sensor mit Constant Force Control:
0.03 to 50mg - Mess- und Analyse-Software mit umfangreiches Benutzermanagement-System
Optionen:
- 2D and 3D Stress Messungen
- Defect Mapping
- Produktions-Paket: Volle Automatiserung mit Sequencing, Pattern Recognition und SECS/GEM Schnittstelle
Tencor™ P-17
Das Tencor P-17 System ist die achte Generation von Stylus Profiler Systemen, mit dem Know How von über 40 Jahren Entwicklungsarbeit. Es repräsentiert den Industriestandard für semi-automatisierte, taktile Analytik im Bereich 2D, 3D Rauigkeiten und Stufenhöhen, sowie 2D, 3D Bow- und Waferstress.
Kenndaten
- Motorisierte XY-Stage:
200mm Scanlänge ohne Stitching - Stufenhöhen: Nanometer bis 1.000µm
- Low force Sensor mit Constant Force Control:
0.03 to 50mg - Mess- und Analyse-Software mit umfangreiches Benutzermanagement-System
Optionen:
- 2D and 3D Stress Messungen
- Defect Mapping
- Produktions-Paket: Volle Automatisierung mit Sequencing, Pattern Recognition und SECS/GEM Schnittstelle
- Open Frame Konfiguration zum Laden größerer Substrate auf einem 240 x 240mm oder 300mm Wafer Chuck.
Tencor™ P-170
Das Tencor P-170 System ist ein Cassette-to-Cassette Stylus Profiler mit umfangreicher Automatisierung für den 24/7-Betrieb in Produktionsumgebung.
Kenndaten
- Automatisches Handling-System für 75mm-200mm opake oder transparente Wafer
- Motorisierte XY-Stage:
200mm Scanlänge ohne Stitching - Stufenhöhen: Nanometer bis 1.000µm
- Low force Sensor mit Constant Force Control:
0.03 to 50mg - Mess- und Analyse-Software mit umfangreiches Benutzermanagement-System
- Volle Automatisierung mit Sequencing, Pattern Recognition und SECS/GEM Schnittstelle
Optionen:
- 2D and 3D Stress Messungen
- Defect Mapping
- 2. Kassettenstation zur Erhöhung der Produktivität
