Alpha-Step
KLA-Tencor ist ein führender Hersteller taktiler und optischer Profilometer.
Produkte:
- Alpha-Step D-500 Stylus Profilometer
- Alpha-Step D-600 Stylus Profilometer
- P-7 Stylus Profiler
- P-17 Surface Profiler
- MicroXAM-100 Optical Profiler MicroXAM Optical Surface Profiler
Anwendung
- Messen von Oberflächentopologie, Oberflächentopographie, Rauhigkeit, Profil.
- Sehr glatte Oberflächen im Bereich von Nanometer Rauhigkeiten bis sehr rauhe Oberflächen.
- Halbleiterstrukturen, MEMS, MOEMS, Solartechnologie.
- Messen dünner, transparenter Schichten von einigen Nanometern bis einige hundert Mikrometer.
- Interferometrie; optische Profilometrie
- Qualitätskontrolle in Produktionsumgebung
