KLA-Tencor is a leading manufacturer of stylus and optical profilers.


  • Alpha-Step D-500 Stylus Profiler
  • Alpha-Step D-600 Stylus Profiler
  • P-7 Stylus Profiler
  • P-17 Surface Profiler
  • MicroXAM-100 Optical Profiler
  • MicroXAM Optical Surface Profiler


  • Measuring of surface topology, surface topography, roughness and profile.
  • Very smooth surfaces in the order of nanometer roughness up to very rough surfaces.
  • Semiconductor structures, MEMS, solar technology.
  • Measurement of thin, transparent layers of some nanometers thickness up to several hundred micrometer thickness.
  • Interferometry
  • Optical Profiling
  • Quality control in a production environment

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