ULVAC Hochgeschwindigkeits-Ellipsometer

Ulvac Inc.

ULVAC Spektroskopische Hochgeschwindigkeits-Ellipsometer

Die UNECS-Serie Spektroskopischer Ellipsometer von ULVAC umfasst verschiedenste Geräte, vom einfachen portablen oder manuellen Gerät, über motorisierte Systeme bis zum integrierbaren Messkopf. Verschiedene spektrale Wellenlängenbereiche sind wählbar, entweder 530 nm – 750 nm oder 380 nm – 760 nm.

Allen Geräten gemeinsam ist die hohe Messgeschwindigkeit, die durch die „Snapshot“-Methode erreicht wird. Dadurch beträgt die Messdauer pro Punkt nur 20 ms. Auf diese Weise ist auch ein Mapping großer Wafer mit bis zu 300 mm Durchmesser in kurzer Zeit möglich.

Das Messverfahren ist hochgenau mit einer typischen Wiederholgenauigkeit der Schichtdickenmessung von 0,1 nm.

 

Die Systeme zeichnen sich durch einfachste Bedienung aus und sind nahezu wartungsfrei. Mit Hilfe einer großen, frei editierbaren Materialdatenbank werden auch komplexe Schichtstapel von 1 nm bis 2 µm messbar. Unbekannte Materialien können einfach zur Datenbank hinzugefügt werden.

Das Gerät ist ideal zur Vermessung transparenter oder semi-transparenter Schichten (Oxide, Nitride, Photoresists, ITO, usw.) geeignet. Bestimmt werden die Dicke, der Brechungsindex und der Extinktionskoeffizient jeder einzelnen Komponente des Schichtsystems.

UNECS-Portable

Das UNECS-Portable ist dank seiner kompakten Bauweise leicht zu transportieren. So werden auch Einsätze außerhalb des Labors, beispielsweise vor Ort beim Kunden, möglich oder auch Messungen an Proben, die auf keiner üblichen Stage Platz finden. Da vollständig auf bewegte Bauteile verzichtet wird, sind nach dem Transport keine Justagen nötig. Das Gerät ist sofort einsatzbereit.

 

 

 

 

UNECS-1500M (Manuelle Stage)

Das UNECS-1500M bietet die gleiche Performance wie das UNECS-Portable und besitzt darüberhinaus eine leicht zu bedienende manuelle R- θ Stage. Das Gerät ist geeignet zur Vermessung von Proben bis 150 mm Durchmesser.

UNECS-1500A/2000A/3000A
(Automatisierte Mapping Stage)

Es sind 3 verschiedene Ausführungen für Proben bis 150, 200 oder 300 mm Durchmesser verfügbar. Die automatisierte R- θ Stage und die Autofokusfunktion in Verbindung mit der kurzen Messzeit ermöglichen die vollständige Vermessung der Probe in kürzester Zeit. Die resultierende Schichtdickenverteilung kann mit bis zu 2.000 einzelnen Messpunkten dargestellt werden.

UNECS-1M (Integration)

Das geringe Gewicht und kompakte Design ermöglichen es, den Ellipsometer-Kopf in bereits vorhandene Maschinen zu integrieren. Der Messkopf kann dabei sowohl unter Atmosphärenbedingungen als auch im Vakuum betrieben werden.

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