In-Situ Raten and Schichtdickenmessung & -Regelung mittels QCM Sensoren

Die Schwingquartz-Methode ist in der Oberflächenbeschichtungstechnik das am häufigsten angewandte Prinzip zur Messung und Regelung von Schichtdicken und Beschichtungsraten. Die Schichtdicken Mess- & Regelgeräte von Sigma Instruments arbeiten nach diesem Messverfahren und erlauben die Einstellung sowie Speicherung der für den Beschichtungsprozess relevanten Prozessparameter. Darüber hinaus gestatten zahlreiche LabView Applikationen sowie frei programmierbare RS 232 Schnittstellen die Integration in bereits bestehende Prozessstrukturen.

Produkte:

  • Q-pod Single-Channel Quartz Crystal Monitor
  • SQM 160 Multi-Channel Quartz Crystal Monitor
  • SQM 242 Co-Deposition Controller Card auf PCI Karte
  • SQC 300 Series Multi-Layer Deposition Controllers
  • QCM Sensoren, Vakuumdurchführungen und Zubehör
  • EIES-Guardian IV Co-Deposition Controller System
  • CI 100 Cucible Indexer

Anwendung:

  • Vakuum-Beschichtungsanlagen
  • PVD Beschichtungsprozesse
SQM160
Q-pod
QCM MessaufbauCrucible IndexerCrucible Indexer Software
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