Sensofar optische Profilometer

Sensofar ist einer der führenden Hersteller Optischer Profilometer.
Die Geräte ermöglichen dank der Verwendung neuester patentierter Displaytechnik als einzige Systeme weltweit die Kombination von Interferometrie und Konfokaltechnik in einem sehr kompakten Messgerät.
Der Wechsel zwischen den verschiedenen Messtechniken erfolgt innerhalb weniger Sekunden, wodurch es möglich wird, innerhalb kürzester Zeit ein äußerst breites Spektrum unerschiedlichster Proben zu vermessen.
Das Einsatzgebiet reicht dabei von der Rauheitsmessung auf extrem glatten Oberflächen mit einer garantierten vertikalen Auflösung von 0.01nm im Interferometriebetrieb bis zur Vermessung extrem rauer, sehr schlecht reflektierender Oberflächen mit Flankenwinkeln von bis über 70 Grad im Konfokalmodus. Durch den Einsatz sehr kurzwelliger blauer LEDs mit kurzer Köhärenzlänge als Beleuchtungseinheit wird auch lateral die höchstmögliche optische Auflösung garantiert.
Das innovative Beleuchtungskonzept kommt dabei ohne jegliche bewegliche Bauteile im Messkopf aus und vermeidet daher die typischen Nachteile herkömmlicher Konfokaler Laserscanning oder Nipkowdisk-basierter Systeme.

Als Option steht auch eine Schichtdickenmesseinheit für sehr dünne, transparente Schichten ab 10nm bei einer Auflösung von 0.1nm zur Verfügung.

PLE 1300

Produkte:

  • Sensofar S neox:  Vier Lichtquellen, 3D Echtfarbebilder, Interferometrie und Konfokal, spektoskopische Reflektometrie als Option
  •  Sensofar PLµ 1300: Portables Gerät, speziell für die Messung von Zylindern
  • Sensofar PLµ apex: Linsen, sphärische und asphärische
Neox Portable

Anwendung

  • Messen von Oberflächentopologie, Oberflächentopographie, Rauhigkeit, Profil.
  • Sehr glatte Oberflächen im Bereich von Nanometer Rauhigkeiten bis sehr rauhe Oberflächen.
  • Halbleiterstrukturen, MEMS, MOEMS, Solartechnologie.
  • Messen dünner, transparenter Schichten von einigen Nanometern bis einige hundert Mikrometer.
  • Interferometrie; Konfokal-Messtechnik, optische Profilometrie
  • Linsenradien, asphärische Linsen
  • Qualitätskontrolle in Produktionsumgebung
Neox Complete
Extended topographyMem accelerometre porcioMicrolentsNeox left perspectiveSensofar SoftwareSolder Balls
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