OCI Vacuum Microengineering

OCI Vacuum Microengineering

LEED und AES Spektrometer

Die LEED und AES Systeme von OCI zeichnen sich aus durch:

  • Modulares Design: CF63, CF100, CF150 Flanschgröße, Shutter, Rückfahrmechanismus, AES Option
  • Breites Anwendungsfeld: Isolatoren, Halbleiter, Metalle, SAM Oberflächen
  • High-End Performance: Hochbrillante Miniatur Elektronenkanone, Gitterdesign mit 0.2% Energieauflösung, MCP und Delay Line Detector Technologie
  • High-End Komfort: Digitale programmierbare USB Steuerelektronik LEED-Bildanalysesystem (14 bit CCD Kamera, Auswertesoftware für automatisierte I-V, I-t und Spotprofil-Analysen)

  • LEED – Auger spectrometers: Models BDL800HR & BDL600HR
  • LEED – AES with gain power of Microchannel Plates – Models BDL800IR-MCP & BDL600IR-MCP
  • mini-LEED with Integral Shutter – Model BDL450
  • Fempto-LEED with Integral Shutter – Model DLD-L800-ISH
  • Electron Guns: model IG10
  • Ion Sputtering Gun: model IG35 & IG70
  • Auger Depth Profiling Mini – System: model ADP2000
  • Digital Raster Scan – Model DRS-100
  • Digital LEED-AES Controllers – Models LPS075-D & LPS300-D & LOA10-AES
  • Digital Ion Sputter Gun Controller IPS3-D

 

Anwendung

LEED und Auger Spektroskopie an Isolatoren, Halbleiter, Metalle, SAM Oberflächen

LEED/AES ControllerBDL800 MCPAuger SoftwareBDL800
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