Lyncée Tec

Lyncée Tec SA

Das Digitale Holographische Mikroskop (DHM) von Lyncée tec ermöglicht statische und dynamische 3D Topographie-Messungen ohne jegliches XY- oder Z-Scannen. Große Flächen werden in kürzester Zeit berührungslos mit nm-Auflösung erfasst. MEMS können in Echtzeit bis 25 MHz vollflächig abgebildet werden, womit das Verfahren deutlich mehr Informationen liefert als andere Techniken, wie z.B. die Vibrometrie.

 

  • Konkurrenzlos schnell
  • Echtzeit 3D Topographie über das volle Bildfeld mit bis zu 1.000 Bildern/s
  • Keine Kalibrierung nötig; nahezu wartungsfrei
  • Simultane Bestimmung von Topographie, Dicke und
    Brechungsindex transparenter Strukturen
  • Schichtdicken von 10 nm bis 15 µm
  • Messungen auch unter Vakuum oder in Flüssigkeit
  • Große Auswahl an Objektiven
  • Auflösung statisch: 400nm lateral, 1nm vertikal
  • Auflösung dynamisch: „In-plane“: 1 nm,
    “Out-of-plane: 5 pm
  • Frequenzbereich von statisch bis 25 MHz
  • 3D Schwingungsanalyse (Bode, Fourier, Harmonische)

Modelle:

  • DHM R1000 (Reflektionsmodus; sub-Nanometer Auflösung in Echtzeit)
  • DHM R1100 (Reflektionsmodus: erweiterter Z-Bereich)
  • DHM T1000 Serie (Transmissionsmodus)
DHM T1000

Anwendung

  • Lifescience
  • MEMS / MOEMS
  • Microoptik
  • Mikrotechnologie
  • Halbleiter
  • Nanotechnologie .
Neurone mit DHM T1000 gemessen
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