Alpha-Step

KLA-Tencor ist ein führender Hersteller taktiler und optischer Profilometer.

Produkte:

  • Alpha-Step D-500 Stylus Profilometer
  • Alpha-Step D-600 Stylus Profilometer
  • P-7 Stylus Profiler
  • P-17 Surface Profiler
  • MicroXAM-100 Optical Profiler MicroXAM Optical Surface Profiler

Anwendung

  • Messen von Oberflächentopologie, Oberflächentopographie, Rauhigkeit, Profil.
  • Sehr glatte Oberflächen im Bereich von Nanometer Rauhigkeiten bis sehr rauhe Oberflächen.
  • Halbleiterstrukturen, MEMS, MOEMS, Solartechnologie.
  • Messen dünner, transparenter Schichten von einigen Nanometern bis einige hundert Mikrometer.
  • Interferometrie; optische Profilometrie
  • Qualitätskontrolle in Produktionsumgebung
3D Oberfläche3D ScanApex ReportApex Report-Erstellungs SoftwareAlpha-Step D-500Alpha-Step D-600StufenprofilP-17
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