ULVAC Ellipsomètre à grande vitesse

Ulvac Inc.

ULVAC Ellipsomètre spectroscopique à grande vitesse

La série d’ellipsomètres spectroscopiques UNECS d’ULVAC comprend différentes configurations allant des instruments manuels et portables aux unités motorisées et capteurs intégrables. Deux gammes de longueurs d’onde différentes peuvent être sélectionnées, soit 530 – 750 nm ou 380 – 760 nm.

Tous les instruments fonctionnent à une vitesse de mesure élevée inégalée en utilisant la méthode «instantané», ce qui donne un temps d’acquisition de seulement 20 ms par point de mesure. Ceci permet par exemple de cartographier un wafer entier de 300 mm en peu de temps.

Cette technique est très précise avec une répétabilité des mesures d’épaisseur de 0,1 nm.

 

La facilité d’utilisation et le fait que le matériel ne requiert aucune maintenance ne sont que deux des avantages des instruments. Le logiciel est livré avec une énorme base de données de matériaux prédéfinis qui permet l’analyse des empilements de couches complexe dans la gamme de 1 nm à 2 microns. La base de données peut être éditée et développée en ajoutant des données matérielles qui ne sont pas incluses.

Les ellipsomètres spectroscopiques ULVAC sont parfaitement adaptés à l’analyse de couches transparentes ou semi-transparentes (oxydes, nitrures, photorésistances, ITO, etc.). L’épaisseur, l’indice de réfraction et le coefficient d’extinction de chaque couche d’un empilement peuvent être mesurés.

UNECS-Portable

L’UNECS-Portable est un instrument compact et transportable destiné à être utilisé n’importe où en dehors d’un laboratoire, par ex. sur place chez le client ou sur des échantillons qui pourraient ne pas tenir sur un porte-objet. Comme il n’y a pas de pièces mobiles à l’intérieur, aucun réajustement n’est nécessaire après le transport et l’instrument est directement prêt à l’emploi.

 

 

 

 

UNECS-1500M (Porte objet manuel)

Le modèle UNECS-1500M offre les mêmes performances que le modèle UNECS-Portable, mais il est complété par un porte-objet R-θ manuel et facile à utiliser pour mesurer des échantillons de diamètre allant jusqu’à 150 mm.

UNECS-1500A/2000A/3000A
(Cartographie automatisée)

Il y a trois modèles disponibles avec différentes tailles de porte-objet pour des échantillons de 150, 200 et 300 mm de diamètre. Le porte-objet R-θ automatisé en combinaison avec un autofocus et la vitesse de mesure élevée permet une cartographie automatique dans des temps très court. Les distributions d’épaisseur peuvent être mesurées avec une densité allant jusqu’à 2.000 points individuels.

UNECS-1M (Intégration)

Ce capteur a un poids léger et un design compact qui le rend idéal pour l’intégration dans divers équipements et machines. Il peut être utilisé dans des conditions atmosphériques et sous vide.

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